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閃蒸干燥機技術(shù)與適應物料的分析
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我們已經(jīng)開(kāi)發(fā)了超臨界抵制在抵抗模式開(kāi)發(fā)，用超臨界流體干燥先后干燥器。在圖案干燥的超臨界流體的使用是^有效地防止圖案崩潰，這是在小于100nm的關(guān)鍵尺寸的精細圖案一個(gè)顯著(zhù)的問(wèn)題。于執行理想臨界密鑰抗蝕干燥是防止水的污染，由于在干燥器腔室的水分。這是因為，溶解在超臨界流體中的水分引起圖案變形，從膜溶脹造成的。作為一種技術(shù)，以防止水的污染，我們設計，其中超臨界流體是近臨界點(diǎn)發(fā)送加壓至特氟隆涂覆的腔室壓力控制的超臨界干燥�！ ￠W蒸干燥機技術(shù)的基礎上所取得的超臨界抗蝕干燥器是用于下一代光刻的基本設備。在耐用外罩或發(fā)展中國家道路建設中使用水硬性膠結劑的是一種有效的技術(shù)，為此，有在不同的時(shí)間，并在世界各地的分散場(chǎng)所的要求�！ ￠W蒸干燥機適應物料 有機物：阿特拉津(農藥殺蟲(chóng)劑)、月桂酸隔、苯甲酸、安息香酸、殺菌丹、草酸鈉、醋酸纖維素、有機顏料等�！ ∪玖希狠祯�、黑色氧化鐵、靛藍顏料、丁酸、氫氧化鈦、硫化鋅、各種偶氮染料中間體�！ o(wú)機物：硼砂、碳酸鈣、氫氧化物、硫酸銅、氧化鐵、碳酸鋇、三氧化銻、各種金屬氫氧化物、各種重金屬鹽、合成冰晶石等�！ √沾桑� 高嶺土、三氧化硅、粘土等； 食品： 大豆蛋白、膠凝淀粉、酒槽、小麥糖、小麥淀粉等。利用冷凍干燥設備的冷凍干燥是指通過(guò)升華從凍結的生物產(chǎn)品中去掉水份或其他溶劑的過(guò)程。升華指的是溶劑，比如水，像干冰一樣，不經(jīng)過(guò)液態(tài)，從固態(tài)直接變?yōu)闅鈶B(tài)的過(guò)程。冷凍干燥得到的產(chǎn)物稱(chēng)作凍干物（lyophilizer），該過(guò)程稱(chēng)任凍干（lyophilization）。
為什么要選擇冷凍
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